
要是把一枚光刻机的镜片放大到地球那么大,它名义最高的“山岳”也唯有1.2毫米。
而创造这一遗迹的,确凿是一家降生于19世纪的小作坊。

卡尔蔡司,靠手工研磨镜片起家,不但两百年不倒,还确凿站在了二十一生纪东说念主类科技的最前沿——莫得它的镜片,ASML的光刻机即是一堆废铁,什么先进芯片、什么东说念主工智能......一边凉快去吧。
是以这家公司,到底是怎样创造遗迹的?

时辰回到1846年,德国耶拿,一家唯有几名学徒的小作坊。卡尔·蔡司正在这里作念着最平淡的活:磨透镜、装显微镜。但他作念这件事的步调很抵抗淡——他把每次打磨的曲率、厚度、过错齐纪录下来。在阿谁年代,这是少量有东说念主会作念的事。这种纪录带来一个平直成果:工艺第一次不错被量化。
但蔡司很快矍铄到,光靠工匠教授,作念不出信得过安然、可臆度的镜头。于是,1866年,他找来了26岁的物理学家恩斯特·阿贝。这是蔡司发展史上最枢纽的节点。阿贝不是来“维护”的,他是来把光学从教授学,推向物理学。他引入数学公式,建立成像表面,给镜头预备第一次画出了完整的“晴明图”。靠这套表面,他们作念出了宇宙上第一批按计算预备的显微镜。

接下来,决定光学上限的问题出现了——材料。无论公式多竣工,要是玻璃自身折射率抵抗定、杂质太多,镜头就耐久够不上极限。于是,第三位枢纽东说念主物登场:奥托·肖特。肖特是材料学家。他和蔡司、阿贝所有,从零驱动辩论光学玻璃的配方、熔真金不怕火温度、冷却形势。用今天的话说,他们在作念“材料基础科研”。 1884 年,他们建立了“耶拿玻璃厂”,制造出 60 多种全新光学玻璃。这些玻璃的折射率、色散数据第一次安然可靠,让镜头性能平直跃升一个期间。

这套体系——阿贝的表面 + 肖特的材料 + 蔡司的制造,组成了其后所有蔡司帝国的本领底座。
但是,公司的行运并不告成。两次宇宙大战,工场被炸。战后公司被区别成东蔡司和西蔡司。这险些等于从中终止一刀。但奇怪的是,区别并莫得裁减他们的本领。反而变成两套不同道路的积蓄:东边在精密机械上更强,西边在科研仪器上更快。比及和解,两套体系吞并,蔡司的本领谱系变得更厚。插足半导体期间,挑战升级。光刻镜头的条件不再是微米级,而是纳米级,致使皮米级,也即是万亿分之一米。
EUV 系统里最枢纽的,是一组多层反射镜。它们的名义过错必须胁制在 0.1 nm 量级。行为对比:一个硅原子的直径大意 0.2 nm。换句话说,镜面不允许出现“比原子更大的有时”。这听上去像不行能完成的任务,但蔡司在前边一百多年建立的那套体系,刚好迥殊贬责这种问题:材料我方作念,曲率我方算,抛光开采我方造,测量仪器也我方坐褥。这种“从玻璃到测量全链条掌控”的形势,让他们不错把过错一步一步压低。

在ASML 的 EUV 光刻机里,每一面来自蔡司的反射镜,齐要在真空系统里安然使命十年以上。这不是靠一项冲破作念到的,而是把历史上通盘的积蓄——表面、材料、工艺、测量——全部重复后的成果。
而光刻机,仅仅这套体系在 21 世纪的最新“控制场景”。
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